濺射離子泵優(yōu)點和缺點

綜述所述，我們大致可以了解到濺射離子泵是一種結(jié)構(gòu)簡單、使用便利的真空泵設(shè)備，它擁有離子泵的基本特點，但是同時也弱點，每種產(chǎn)品都存在多多少少的不足，但是相信隨著我國真空泵的發(fā)展，濺射離子泵也會隨著進步。只要相關(guān)專業(yè)人士也業(yè)內(nèi)人士持續(xù)關(guān)注和不斷創(chuàng)新，濺射離子泵在真空泵界中會有屬于自己的輝煌明天。

濺射離子泵除了具有離子泵所具備的無油、超真空、無噪音等特點，它的工作壓強可非常低，因此它可以可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、各種粒子加速裝置的真空設(shè)備中使用。但是濺射離子泵也存在不足，這些不足導(dǎo)致了濺射離子泵的使用受到一定的局限性。

接下來主要介紹濺射離子泵的優(yōu)點和缺點：

濺射離子泵的優(yōu)點：

1、濺射離子泵在工作過程中偶然暴露于大氣不會損壞，

2、結(jié)構(gòu)簡單，操作維護容易；

3、濺射離子泵無油污染,高真空時耗電量少，能安裝在容器的任何位置上；

濺射離子泵的缺點：

1、濺射離子泵必須在10-2帕左右壓力下啟動,否則因離子流過大而使泵發(fā)熱；

2、離子泵泵體重裝后存在比較多不穩(wěn)定因素；

3、濺射離子泵長期使用會使吸氣劑鈦產(chǎn)生飽和, 使真空質(zhì)量變差；