如何選擇真空系統(tǒng)的主泵

設計一套使用方便而又工作可靠的真空系統(tǒng)，選取主真空泵是個關(guān)鍵問題。選取主真空泵不能只追求某一項指標，必須根據(jù)使用條件多方面綜合考慮。

(1)根據(jù)真空室所需要建立的極限壓力確定主泵的類型。一般主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數(shù)量級。

(2)根據(jù)真空室進行工藝生產(chǎn)時所需要的工作壓力選主泵。應正確地選擇主泵的工作點，在其工作壓力范圍內(nèi)，應能排除真空室內(nèi)工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。因此，真空室內(nèi)的工作壓力一定要在主泵的最佳抽速壓力范圍之內(nèi)。

(3)根據(jù)真空室的容積大小和要求的抽氣時間來選主泵。真空室體積大小對系統(tǒng)抽到極限真空的時間有影響。當抽氣時間要求一定時，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。

(4)正確地組合真空泵，由于真空泵有選擇性地抽氣，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。

(5)若真空系統(tǒng)嚴格要求無油時，則應該選各種無油泵作主泵。如果要求不嚴格，則可選擇有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

(6)選擇真空泵時，應該知道被抽氣體成分，針對被抽氣體成分選擇相應的泵。如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆?；覊m等，則應該考慮選擇干式真空泵、耐腐蝕真空泵等。或在泵的進氣口管道上安裝輔助設備。

(7)根據(jù)整套真空系統(tǒng)的初次投資和日常維護費用等經(jīng)濟指標選擇主泵。